การจำแนกประเภทของพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์

ภาษาไทยพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์สามารถแบ่งออกได้เป็น 2 ประเภทตามคุณสมบัติทางไฟฟ้าที่แตกต่างกัน ได้แก่ พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวนและพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์แบบนำไฟฟ้า พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวนส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์ความถี่วิทยุแกเลียมไนไตรด์ โดยการปลูกชั้นเอพิแทกเซียลแกเลียมไนไตรด์บนพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกึ่งฉนวน จะผลิตเวเฟอร์เอพิแทกเซียลแกเลียมไนไตรด์ที่ใช้ซิลิกอนคาร์ไบด์ ซึ่งสามารถใช้ในการผลิตอุปกรณ์ความถี่วิทยุแกเลียมไนไตรด์ต่อไปได้ พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์แบบนำไฟฟ้าส่วนใหญ่ใช้ในการผลิตอุปกรณ์กำลัง แตกต่างจากกระบวนการผลิตอุปกรณ์กำลังซิลิกอนคาร์ไบด์แบบดั้งเดิม อุปกรณ์กำลังซิลิกอนคาร์ไบด์ไม่สามารถผลิตได้โดยตรงบนพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์ จำเป็นต้องปลูกชั้นเอพิแทกเซียลซิลิกอนคาร์ไบด์บนพื้นผิวตัวนำเพื่อให้ได้เวเฟอร์เอพิแทกเซียลซิลิกอนคาร์ไบด์ และเพื่อผลิตอุปกรณ์กำลังประเภทต่างๆ บนอุปกรณ์ชั้นเอพิแทกเซียล