เทคโนโลยีการเตรียมพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์

เทคโนโลยีการเตรียมพื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์รวมถึงวิธี PVT (วิธีการขนส่งไอทางกายภาพ) วิธีการละลาย และวิธีการสะสมไอเคมีอุณหภูมิสูง ปัจจุบัน การเจริญเติบโตของผลึกเดี่ยวซิลิกอนคาร์ไบด์เชิงพาณิชย์ใช้วิธี PVT พื้นผิวซิลิกอนคาร์ไบด์ใช้ผงคาร์บอนที่มีความบริสุทธิ์สูงและผงซิลิกอนที่มีความบริสุทธิ์สูงเป็นวัตถุดิบในการสังเคราะห์ผงซิลิกอนคาร์ไบด์ ภายใต้สนามอุณหภูมิพิเศษ วิธีการส่งผ่านไอทางกายภาพที่สมบูรณ์ (วิธี PVT) ใช้ในการปลูกแท่งซิลิกอนคาร์ไบด์ที่มีขนาดต่างกันและผ่านกระบวนการไฟฟ้าสถิต การตัดแท่งผลึก การบดเวเฟอร์ การขัด และการทำความสะอาด ฯลฯ ดำเนินการผ่านขั้นตอนการประมวลผลหลายขั้นตอน